logologo-text
Делегация МГТУ посетила рабочую встречу по приборостроению

Автор: Екатерина Карпухина

28 ноября 2022

image

Read 1 minute

В МФТИ состоялась рабочая встреча министра науки и высшего образования РФ Валерия Фалькова с коллективами разработчиков научных приборов гражданского назначения, а также с представителями научных организаций.

В мероприятии приняла участие делегация МГТУ им. Н.Э. Баумана в составе проректора по науке и цифровому развитию Павла Дроговоза, куратора программы научного приборостроения МГТУ Павла Платонова и директора НОЦ «Ионно-плазменные технологии» Сергея Ивахненко. 

Коллектив Бауманского университета представил макет бессеточного источника ионов. В этом изделии реализована технология ионной бомбардировки для формирования и травления тонкоплёночных слоёв при создании прецизионной оптики и микроэлектроники в научном приборостроении.

В результате работ по проекту будет создана импортозамещающая линейка бессеточных технологических источников ионов для использования в процессах плазменного и ионного травления, осаждения из газовой фазы и электронно-лучевого нанесения покрытий.

Основными функциями прибора являются: 

  • ассистирование при нанесении покрытий;
  • очистка поверхности от загрязнений;
  • травление поверхности;
  • нанесение покрытий.

 

К преимуществам представленной разработки относятся: 

  • широкий ионный пучок, обеспечивающий большую область обработки;
  • низкая энергия ионов (10 — 200 эВ), позволяющая снизить повреждения обрабатываемой поверхности и обеспечить малое внедрение ионов рабочего газа;
  • большой ионный ток, дающий высокую скорость процесса обработки.

 

В настоящее время командой разработчиков МГТУ им. Н.Э. Баумана под руководством Сергея Ивахненко изготовлены макеты ионных источников трёх типов — с максимальным током разряда 5, 10 и 15 А. Бауманцами были проведены испытания макетов, доказавшие, что характеристики соответствуют основным требованиям технического задания на опытно-конструкторской работе, а также, что разработанные макеты по ряду параметров превосходят зарубежные аналоги. 

Технический проект успешно прошёл защиту на комиссии Минобрнауки России. Потребность отечественной науки в таких изделиях составляет порядка 20-30 изделий ежегодно.

Фото: Пресс-служба МФТИ